主要特點
l 從SF6設備中回收SF6氣體，并測定真空度
l 實現負壓回收，液化存儲
l SF6設備檢修完畢，抽走空氣和水份
l 將儲存的SF6氣體循環干燥凈化固化提純。（過濾氣體中的雜質、水份、CF4、HF、SF6分解物、礦物油、粉塵及絮狀顆粒）
l 將儲存的SF6汽化，再輸送到SF6設備
l 將氣體回收儲罐及管道、氣瓶加熱，抽真空至10Pa
l 在氣瓶、儲罐及外部儲罐之間輸送液態SF6
l 可選擇對處理過程中的SF6氣體進行取樣檢測分析
l 可再生大容量過濾器
l 抽真空的排出物可經過堿洗吸收，無毒排放。吸附劑堿洗深埋
l 自動程序保護控制，自動手動控制可選可視，操作簡單明了
l 高壓直接液化，無需外加增壓器
l 儲氣量300KG，可擴展外接氣瓶、氣罐
l 氣瓶電子稱重
德國無壓差同軸電磁閥（一般電磁閥在突然斷電情況下的無法關閉及延遲關閉的危險）
技術指標
極限真空度（pa） | ≤10 |
抽真空速率（Nm³/h） | 64 |
回收速率（Nm³/h） | ＞10 |
回收初壓力（Mpa） | ＜0.8 |
回收終壓力（Mpa） | ＜0.01 |
年泄漏率（%） | ＜1 |
儲罐容積（L） | 300 |
儲罐壓力（Mpa） | 5 |
存儲方式 | 冷凝液化 |
噪聲聲壓級（dB） | 70（羅茨泵啟動時） |
工作電源（V） | 380 |
zui大功率（kW） | ＜25kW |
寬×高×厚（mm） | 約2200×1800×1500 |
干燥過濾再生方式 | 真空再生加熱活化處理 |
提純方式 | 固態氣化提純 |
凈化后的氣體含量
項目 | 指標 | |
六氟化硫（SF6）的質量分數/% | ≥99.9 | |
空氣的質量分數/% | ≤0.04 | |
四氟化碳（CF4）的質量分數/% | ≤0.04 | |
水分 | 水分的質量分數/% | ≤0.0005 |
露點/℃ | ≤-49.5 | |
酸度（以HF計）的質量分數/% | ≤0.00002 | |
可水解氟化物（以HF計）/% | ≤0.0001 | |
礦物油的質量分數/% | ≤0.0004 | |
毒性 | 生物實驗無毒 | |
